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三坐標測量儀是一種光學的測量儀器，它的測量空間之中的任何一點均可達微米的級別，隨著現在自然科學的發展，光學制造業的不斷進步，對于三坐標測量機的精度建議進一步的提升了，的話非常容易應付超擅加工與科學技術轉型的需求。
借以提升三坐標測量儀的精度，要對于能沖擊精度方面的因素作出處理。下列闡述出提升三坐標測量機精度的四個步驟，期望能對于三坐標測量機的使用者大幅幫助。
一：提升標尺的精度，激光干預標尺系統把于測量機之中獲得比較余應用，尤其是大型三坐標測量機，這種“無形”標尺越來越有獨有的優點。于使用激光干預標尺時，有兩個問題需留意。一是你們讓激光造成的冷影響測量機的精度，激光器經常放到隔熱艙之外，光束透過光纖或是反射鏡引進；二是留意折射率的補償。借以增加大氣氣壓的影響，可對于光路展開全臺關閉或是半封閉，乃讓激光干涉儀于密封的罩內工作。
二：要提升三坐標測量儀結構的精度，包含測量機主機、分度臺、測頭和各種測頭附件的精度。這里最為關鍵的是提升他的重復精度。
三：要不懈減小力形變、熱變形以及其它環境因素造成的影響。尤其要留意防止復雜力形變和熱變形。這要自結構與環境控制兩方面采取措施。
四：要使用合適的采樣策略。測量機應具備智能功能，能對于被測參數以及精度要求，使用比較好采樣策略。
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